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美國ZYGO白光干涉儀 美國ZYGO白光干涉儀ZeGage™光學(xué)輪廓儀是用于3D形貌定量測(cè)試，和精密機(jī)械表面粗糙度檢測(cè)的理想非接觸式檢測(cè)工具。它工業(yè)化的設(shè)計(jì)提供快速，準(zhǔn)確的測(cè)量方案，并且外形緊湊、性價(jià)比高，能夠放在生產(chǎn)車間工作，而不需要振動(dòng)隔離和特殊的隔離裝置
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