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ZYGO新一代激光干涉儀
- 更新時(shí)間：2020-09-11
- 瀏覽次數(shù)：5802
ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire™激光干涉儀繼承了工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)GPI™激光干涉儀系列的所有優(yōu)點(diǎn)，融合了機(jī)械相移技術(shù)、創(chuàng)造性的數(shù)據(jù)采集技術(shù)、高性能的光電成像系統(tǒng)、振動(dòng)補(bǔ)償軟件、非球面測(cè)量技術(shù)和波紋抑制技術(shù)等，是ZYGO技術(shù)的集中體現(xiàn)。 所有VeriFire™系列產(chǎn)品都能提供標(biāo)準(zhǔn)的干涉測(cè)量，每種型號(hào)均具有特殊的應(yīng)用。
| 品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,交通,冶金,航天,汽車(chē) |
ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire™激光干涉儀，繼承了工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)GPI™激光干涉儀系列的所有優(yōu)點(diǎn)，融合了機(jī)械相移技術(shù)、創(chuàng)造性的數(shù)據(jù)采集技術(shù)、高性能的光電成像系統(tǒng)、振動(dòng)補(bǔ)償軟件、非球面測(cè)量技術(shù)和波紋抑制技術(shù)等，是ZYGO技術(shù)的集中體現(xiàn)。 所有VeriFire™系列產(chǎn)品都能提供標(biāo)準(zhǔn)的干涉測(cè)量，每種型號(hào)均具有特殊的應(yīng)用。Verif ire"系統(tǒng)真正的斐索型激光光路設(shè)計(jì)延續(xù)了zYG0在面形計(jì)量行業(yè)*與倫比的經(jīng)驗(yàn)。共光路的設(shè)計(jì)結(jié)合ZYG0**的采集算法，和功能強(qiáng)大的批軟件實(shí)現(xiàn)了高精度的表面計(jì)量與良好的分析能力。
關(guān)鍵性能：
? 斐索型共光路系統(tǒng)保證精密測(cè)量
? 友好的圖形用戶界面，易于生產(chǎn)線上操作
? 創(chuàng)新箅法使其在振動(dòng)環(huán)境中也能實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確計(jì)量
? 利用良好的過(guò)程控制技術(shù)，快速提取測(cè)試中不變的信息
? 每一幀數(shù)據(jù)都將振動(dòng)信息凍結(jié)
所有 Verifire™ 系列產(chǎn)品都能提供標(biāo)準(zhǔn)的干涉測(cè)量,每種型號(hào)均具有特殊的應(yīng)用,列于下表:
| 型號(hào): | XPZ | QPZ | ATZ | MST | Asphere |
| 核心技術(shù): | 相位移式干涉儀 (PSI) | 傅立葉轉(zhuǎn)換相位移 式干涉儀 | **非球面演算 法相位移式干涉儀 | ||
| 光源: | 點(diǎn)光源 | 點(diǎn)光源和 Ring of Fire™環(huán)形光源(波紋抑制) | |||
| 變焦: | 自動(dòng) 1-6X | 數(shù)位控制 1-5X | |||
| 聚焦: | 自動(dòng) | 數(shù)控步進(jìn)焦距控制 | |||
| 解析度: | 640 × 480 圖元 | 1k × 1k 圖元 | |||
| 幀速: | 75 Hz | 100 Hz | 43 Hz | ||
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集成大量常用測(cè)量程序模塊? 多個(gè)樣品的同時(shí)分析? 球面曲率半徑的測(cè)量 ? 角錐和棱鏡測(cè)量 ? 雙球面和三平板的測(cè)量 ? 相對(duì)角度和楔板楔角的測(cè)量 ? 材料均勻性的測(cè)量 ? 傅立葉變換移相干涉測(cè)量(MST型) ? 動(dòng)態(tài)設(shè)備如MEMS的測(cè)量 ? 薄膜上下層形貌和厚度的測(cè)量 ? 金屬零件的測(cè)量
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簡(jiǎn)單的定制過(guò)程，用戶可調(diào)? 設(shè)定數(shù)控采集和數(shù)據(jù)處理過(guò)程中的各種參數(shù)? 選擇需要顯示的圖像曲線和數(shù)據(jù)結(jié)果 ? 幾百種符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)據(jù)可供選擇 ? 自定義屏幕上各種窗口的編排 ? 保存和輸出每個(gè)樣品參數(shù)測(cè)量.分析設(shè)定數(shù)據(jù)結(jié)果 ? 適用于工業(yè)化生產(chǎn)的軟件 ? 質(zhì)量控制--自動(dòng)顯示”合格/不合格” ? 編程功能--儀器自動(dòng)按用戶所編程序模式運(yùn)行.產(chǎn)生相應(yīng)的信息 ? 根據(jù)用戶定義的計(jì)算公式，產(chǎn)生相應(yīng)的結(jié)果 ? 實(shí)時(shí)屏現(xiàn)SPC ? 自動(dòng)數(shù)據(jù)保存和統(tǒng)計(jì) ? 應(yīng)用程序”鎖定“功能
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強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析功能? 數(shù)據(jù)濾波和剪輯? 像差計(jì)算 ? PSF和MTF圖 ? 斜率圖/功率譜密度/環(huán)繞能 ? ASCII和"XYZ"數(shù)據(jù)格式 ? Zernike分析 ? 數(shù)據(jù)和圖像加減、縮放、旋轉(zhuǎn)和轉(zhuǎn)換 ? ZEMAX、CodeV和0SL0數(shù)據(jù)格式
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系統(tǒng)
| 測(cè)量功能 | 精密測(cè)量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的表面面形、精密測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)的傳輸波前 |
| 測(cè)量技術(shù) | QPSI快速機(jī)械相移模式和傳統(tǒng)的機(jī)械相移干涉模式（PSI） |
| 校準(zhǔn)系統(tǒng) | 快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點(diǎn)定位于十字線) |
| 測(cè)量光束直徑 | 4″（102mm）或6″（152mm） |
| 對(duì)準(zhǔn)視場(chǎng)范圍FOV | 4″：±3°；6″：±2°； |
| 光學(xué)中心線 | 4.25″（108mm） |
| 激光光源 | 大功率穩(wěn)頻氦-氖激光，III* |
| 波長(zhǎng) | 633 nm |
| 頻率穩(wěn)定度 | < 0.0001 nm |
| 相干長(zhǎng)度 | ＞100m |
| 成像分辨率 | 1024 x 1024像素 |
| 幀速 | 100Hz（PSI） |
| 數(shù)據(jù)采集時(shí)間 | 130-300ms |
| 數(shù)據(jù)模式 | 8位 |
| 放大 | 電控1-5X |
| 偏振 | 接近圓偏振（1.2：1或者更好） |
| 光曈調(diào)焦范圍 | 4″：±2.5m；6″：±5.5m； |
| 計(jì)算機(jī)和軟件 | 高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO**軟件 MetroproTM 9和MetroproTM X（2） |
| 安裝構(gòu)造 | 水平臥式或垂直立式 |
| 附件 | 詳細(xì)參考ZYGO激光干涉儀附件向?qū)募?，OMP-0463 |
| 尺寸(長(zhǎng)x寬x高) | 4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.） |
| 重量 | 4″:≤85lb（38Kg）；6″:≤100lb（45Kg） |
| 電源 | 100-240VAC，50/60Hz |
工作環(huán)境：
| 溫度 | 15°C - 30°C (59°F - 86°F) |
| 溫度變化率 | ＜1.0°C/15min |
| 濕度 | 相對(duì)濕度5% - 95% , 無(wú)凝結(jié) |
| 隔振 | QPSI模式可以在振幅不超過(guò)150nm的震動(dòng)環(huán)境下進(jìn)行測(cè)量；機(jī)械移相測(cè)量模式推薦使用被動(dòng)隔振系統(tǒng)。 |
性能參數(shù)：
| RMS重復(fù)性（3） | < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ) |
| RMS波前重復(fù)性（4） | < 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ) |
| 像素峰值偏差(5) | < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %) |
