ZYGO ZEGAGE光學(xué)輪廓儀

• 更新時間：2020-10-14
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ZYGO ZEGAGE光學(xué)輪廓儀
ZeGage™光學(xué)輪廓儀是用于3D形貌定量測試，和精密機(jī)械表面粗糙度檢測的理想非接觸式檢測工具。它工業(yè)化的設(shè)計提供快速，準(zhǔn)確的測量方案，并且外形緊湊、性價比高，能夠放在生產(chǎn)車間工作

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ZYGO ZEGAGE光學(xué)輪廓儀

ZeGage™光學(xué)輪廓儀是用于3D形貌定量測試，和精密機(jī)械表面粗糙度檢測的理想非接觸式檢測工具。它工業(yè)化的設(shè)計提供快速，準(zhǔn)確的測量方案，并且外形緊湊、性價比高，能夠放在生產(chǎn)車間工作，而不需要振動隔離和特殊的隔離裝置。同時交互式的控制軟件MxTM提供了簡單而精細(xì)的圖形圖像來幫助你的加工處理。如需獲取更多的信息，了解Zegage系統(tǒng)的能力、功能和價值請繼續(xù)往下看。

關(guān)鍵特點

      • 抗震性能，適合于生產(chǎn)車間的計量檢測和過程控制。
      • 所有參數(shù)遵照ISO 25178標(biāo)準(zhǔn)，保證計量結(jié)果的可性度。
      • 非接觸式計量技術(shù)不會引起任何待測件的損傷。
      • 計算機(jī)控制的4位物鏡轉(zhuǎn)臺。
      • 基于區(qū)域的測量，對待測件如何放置不敏感。
      • 測量無需任何耗材。

生產(chǎn)車間里，正在使用的ZeGage光學(xué)輪廓儀

系統(tǒng)參數(shù)：

◆原理 非接觸、三維白光掃描干涉儀

◆掃描裝置: 長范圍 Z 軸調(diào)節(jié)

◆物鏡: 無限共軛干涉物鏡：標(biāo)準(zhǔn)工作距離2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x；長工作距離：1x, 2x, 5x, 10x,詳見物鏡參數(shù)表

◆視場: 跟所選物鏡有關(guān)

◆光源: 長壽命白光 LED，計算機(jī)控制光強(qiáng)

◆物鏡座: 螺紋物鏡座（標(biāo)準(zhǔn)）；

◆選件: 可快速裝卸單物鏡夾具（可選）；電控或手動 4 位物鏡塔臺（可選）。

◆輔助聚焦: 軟件控制輔助聚焦

◆測量陣列: 1024×1024

◆樣件觀察: 軟件集成交互式實時觀察

◆Z 軸: 100mm 行程，主機(jī)頭具有兩種可選安裝高度，以優(yōu)化工作距離

◆樣品臺控制: USB 控制器，人體工程學(xué)設(shè)計的拇指控制按鈕，可控制速度和聚焦模式切換

◆安全性: 系統(tǒng)集成緊急制動功能

◆樣品臺: 手動,俯仰傾斜±4°; 手動XY平移50x100mm; 集成T型槽板利于固定附件

◆計算機(jī): 高性能DELL計算機(jī), 寬屏1080P LCD，64位，Windows 7系統(tǒng)

◆軟件: ZeMapsTM

◆尺寸（HWD）: 系統(tǒng)：156×127×76cm; 工作桌：74x127x76cm; ZeGage 主機(jī)：82x53x53cm

◆重量: ZeGage 主機(jī)：54Kg; 工作臺：37Kg

性能：

◆縱向掃描范圍：≤ 20 mm，(受限于物鏡工作距離)

◆表面形貌重復(fù)性：＜3nm（根據(jù) ISO/DIS 25178 604 部，附件 D）

◆光學(xué)分辨率（橫向）：0.52um ～9.50um，與所選物鏡有關(guān)

◆掃描速度： ≤ 23 um/秒

◆大數(shù)據(jù)點： 1,048,576

◆臺階測量： 準(zhǔn)確度 ≤ 1%； 重復(fù)性≤ 0.1% @ 1σ

被測樣品特性：

◆材料： 各種材料的表面：透明，不透明，鍍膜，非鍍膜，反射，弱反射

◆反射率：1-100%

環(huán)境要求：

◆溫度： 15-30℃

◆溫度變化率： ＜1.0°C/15分鐘

◆濕度： 相對濕度 5%-95%，無凝結(jié)

◆隔振： 不需要

◆振動準(zhǔn)則： VC-C 或有更好的推薦