表面粗糙度儀標(biāo)準(zhǔn)的提出和發(fā)展與工業(yè)生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展密切相關(guān)，它經(jīng)歷了由定性評(píng)定到定量評(píng)定兩個(gè)階段。發(fā)展表面粗糙度儀對(duì)機(jī)器零件表面性能的影響從1918年開始受到注意，在飛機(jī)和飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)設(shè)計(jì)中，由于要發(fā)展求用最少材料達(dá)到最大的強(qiáng)度，人們開始對(duì)加工表面的刀痕和刮痕對(duì)疲勞強(qiáng)度的影響加以研究。但由于測發(fā)展量困難，當(dāng)時(shí)沒有定量數(shù)值上的評(píng)定要求，只是根據(jù)目測感覺來確定。在20世紀(jì)20～30年代，世界上很多發(fā)展工業(yè)國家廣泛采用三角符號(hào)的組合來表示不同精度的加工表面。

　　為研究表面粗糙度儀對(duì)零件性能的影響和度量表面微觀不平度的需要，從20年代末到30年代，德國、美國發(fā)展和英國等國的一些專家設(shè)計(jì)制作了輪廓記錄儀、輪廓儀，同時(shí)也產(chǎn)生出了光切式顯微鏡和干涉顯微鏡等用發(fā)展光學(xué)方法來測量表面微觀不平度的儀器，給從數(shù)值上定量評(píng)定表面粗糙度儀創(chuàng)造了條件。從30年代起，已對(duì)表發(fā)展面粗糙度定量評(píng)定參數(shù)進(jìn)行了研究，如美國的Abbott就提出了用距表面輪廓峰頂?shù)纳疃群椭С虚L度率曲線來發(fā)展表征表面粗糙度儀。1936年出版了Schmaltz論述表面粗糙度儀的專著，對(duì)表面粗糙度儀的評(píng)定參數(shù)和數(shù)值的標(biāo)準(zhǔn)化發(fā)展提出了建議。但粗糙度評(píng)定參數(shù)及其數(shù)值的使用，真正成為一個(gè)被廣泛接受的標(biāo)準(zhǔn)還是從40年代各國相應(yīng)的發(fā)展國家標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布以后開始的。

　　首先是美國在1940年發(fā)布了ASA發(fā)展B46.1國家標(biāo)準(zhǔn)，之后又經(jīng)過幾次修訂，成為現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)ANSI/ASME發(fā)展B46.發(fā)展1-1988《表面結(jié)構(gòu)表面粗糙度儀、表面波紋度和加工紋理》，該標(biāo)準(zhǔn)采用中線制，并將Ra作為主參數(shù)；接著前蘇發(fā)展聯(lián)在1945年發(fā)布了GOCT2789-1945《表面光潔度、表面微觀幾何形狀、分級(jí)和表示法》國家標(biāo)準(zhǔn)，而后經(jīng)過了3發(fā)展次修訂成為GOCT2789-1973《表面粗糙度儀參數(shù)和特征》，該標(biāo)準(zhǔn)也采用中線制，并規(guī)定了包括輪廓均方根偏差發(fā)展即現(xiàn)在的Rq)在內(nèi)的6個(gè)評(píng)定參數(shù)及其相應(yīng)的參數(shù)值。另外，其它工業(yè)發(fā)達(dá)國家的標(biāo)準(zhǔn)大多是在50年代制定的，發(fā)展如聯(lián)邦德國在1952年2月發(fā)布了DIN4760和DIN4762有關(guān)表面粗糙度儀的評(píng)定參數(shù)和術(shù)語等方面的標(biāo)準(zhǔn)等。