如果標準和測量條件設置正確，MarSurf PS1 開機后可立即開始測量。測量通常與被測件的加工軌跡成直角進行。如果加工軌跡不可見，則進行兩個單獨的 90° 測量或三個單獨的 60° 測量。. 將探頭移動到測量位置。測桿必須與被測面平行。 
按下任意一個綠色 Start 鍵 開始測量。 
在測量過程中，顯示屏將顯示 "測量"。其后面顯示的數字表示探頭正在掃描的掃描區(qū)段。如果截止波長和掃描長度的自動設置已打開，或者正在根據 MOTIF 標準進行測量，則顯示屏上將顯示 "測量      --A--"。  測量范圍可以內部自動轉換，這樣可以始終為測量選擇*的輪廓分辨率。 
測量后，顯示屏將顯示 "測量結束" 直到探頭返回到它的起始位置。

重新顯示掃描長度后，按下任意一個綠色 Start 鍵即可啟動新的測量。

通過按下 Start 鍵可隨時中斷測量。驅動將立即停止且探頭返回到它的起始位置。然后按下 Start 鍵可以啟動新的測量。  
在測量中將監(jiān)控探頭的偏離情況。如果超出測量范圍，探頭將立即停止并返回到它的起始位置。顯示屏將顯示或符號（12) 并出現錯誤信息

注意：

請確保探頭在返回時不超出測量范圍上限，以免損壞探頭！

存儲測量結果 ：
MarSurf PS1 有一個內置存儲器，可將zui多 400 個測量序列的結果存儲為結果文件，而每個序列zui多可包含 500 個結果。在啟動一個測量序列之前，必須先進行必要的設置。

如果打開存儲結果，MarSurf PS1 將自動屏蔽所有儀器設置，以確保測量結果的可比性。  每次測量結束后，將顯示已存儲結果的當前測量序列的測量次數。  
如zui后一次測量不予考慮的話（例如測量受到外部因素的影響），則該測量結果可從當前測量序列中刪除。 測量序列也可被中斷（"存儲 中斷"）以便用其它的設置進行測量。 如果以后要繼續(xù)存儲結果（"存儲   繼續(xù)"），則原來的正確設置將自動恢復。

如果數據內存已滿或測量序列結束，則到結束點之前收集的測量結果可存儲為一個文件并通過 USB 接口傳輸到連接的 PC 中（參見第 7.1 節(jié)）。要存儲新數據，必須將數據內存清空。

如果關閉存儲結果，則不再屏蔽儀器的設置，這時可對儀器設置進行修改。